8. fejezet - Felületek és vékonyrétegek vizsgálati módszerei (Csóka Balázs)

Tartalom

8.1. Fotonnyalábot használó felületvizsgáló módszerek
8.1.1. Működési elv
8.1.2. Eszközök és módszerek
8.1.3. Analitikai teljesítőképesség
8.1.4. Alkalmazási példák
8.1.5. Ellenőrző kérdések és feladatok
8.2. Ionnyalábot használó felületvizsgáló módszerek
8.2.1. Ionszórásos spektroszkópia
8.2.1.1. Működési elv
8.2.1.2. Eszközök és módszerek
8.2.1.3. Analitikai teljesítőképesség
8.2.2. Szekunder-ion tömegspektrometria
8.2.2.1. Működési elv
8.2.2.2. Eszközök és módszerek
8.2.2.3. Analitikai teljesítőképesség
8.2.3. Részecske indukált röntgen-emisszió
8.2.3.1. Működési elv
8.2.3.2. Eszközök és módszerek
8.2.3.3. Analitikai teljesítőképesség
8.2.4. Ellenőrző kérdések és feladatok
8.3. Képalkotó és felületvizsgáló módszerek
8.3.1. Elektronnyalábot használó képalkotó és felületvizsgáló módszerek
8.3.1.1. Működési elv
8.3.1.2. Eszközök és módszerek
8.3.1.3. Analitikai teljesítőképesség
8.3.1.4. Alkalmazási példák
8.3.2. Pásztázó felületvizsgáló módszerek
8.3.2.1. A pásztázó alagútmikroszkóp működési elve
8.3.2.2. Eszközök és módszerek az STM mikroszkópiában
8.3.2.3. Az atomerő mikroszkóp működési elve
8.3.2.4. Eszközök és módszerek az AFM mikroszkópiában
8.3.2.5. Analitikai teljesítőképesség
8.3.2.6. Alkalmazási példák
8.3.2.7. Ellenőrző kérdések és feladatok

Az anyagok a felületükön keresztül kerülnek kapcsolatba a környezetükkel, ezért tulajdonságaikat is nagymértékben befolyásolják határfelületeik. A „felület” azonban nem csak az anyag legkülső, egy atomsornyi vastag rétegét jelenti, hanem – vizsgálati módszertől is függően – azt a néhány nm (de legfeljebb pár μm) vastagságú réteget, amelynek tulajdonságai eltérnek a tömbfázisban tapasztalhatóaktól. Felületek és azok közelében lévő rétegek elemezése nagy fejlődésen ment keresztül az elmúlt évtizedekben. Az alkalmazott módszerek száma és azok teljesítőképessége is ugrásszerűen megnőtt. Ezek közül kiemelve a legjelentősebb spektroszkópiai módszereket, a gerjesztő energiaforrás szerint csoportosítva tekintjük át őket, majd bemutatunk néhány további, képalkotó eljárást is.