Kurzuskód: | F 403 |
Tantárgykód: | KIF 168 |
Tanszék: | Kísérleti Fizikai Tanszék |
Elõadó: | Bohátka Sándor |
Kredit: | 1 |
Félév: | 4. |
Heti óraszám: | 1+1 |
Elõfeltétel: | Hõtan |
Követelmény: | B, G |
Tematika:
A kinetikus gázelméletre
alapozott vákuumfizikai alapfogalmak áttekintése (nyomás,
sebességeloszlás, közepes szabad úthossz, transzport
jelenségek, diffúzió). Nyomásmérõk
(össznyomás: folyadékos, mechanikus, hõvezetéses,
ionizációs, kapacitív, viszkozitás; parciális
nyomás: tömegspektrométerek). Gázok áramlási
törvényei. Áramlási ellenállás,
ellenállások kapcsolása, szívósebességek.
Áramlási típusok, áramlás diafragmán,
csöveken; recipiens leszívási ideje. Szivattyúk
mûködése és kezelése. Elõvákuum:
forgólapátos, roots, szorpciós szivattyúk.
(Ultra-) nagyvákuum: turbomolekuláris, olajdiffúziós,
krio-, szublimációs, getter-ion szivattyúk. Vákuumrendszerek
felépítése és gyakorlati tudnivalók:
konstrukciós anyagok, építõelemek; termelési
és üzemeltetési szempontok. Beömlési források,
gázleadás;lyukkeresés, tisztítás. ûttekintés
a vákuumfizika alkalmazásáról a kutatásban
és az iparban. Kutatási és fejlesztési irányzatok.
Ajánlott irodalom: